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制造公司



  上海陛通半导体能源科技股份有限公司在2014年7月设立上海陛通半导体设备有限公司(简称陛通设备)。陛通设备的建造宗旨在健全和发展陛通公司现有的200mm半导体设备的再制造能力和为进一步拓展到即将来临的300mm设备再制造市场奠定坚实的基础。通过持续的投资建设,逐步建立起条件优良、功能配套、管理规范、先进高效的设备再造基地、半导体设备人才实训基地,以及建造一个适应于当前及未来纳米科技及纳米工程领域研究发展所需要的基础技术平台。

  陛通设备200MM/300MM半导体前道工艺设备的技术改造升级、新工艺制程方案设计验证、设备整机再制造和检测手段于一体,并能够承载培养半导体设备人才实训基地和未来纳米科学在芯片制造领域创新研究的支撑平台。

  中心距离上海浦东新区张江高科技园区约10公里。具备配套、安全的高容量高压电源、去离子水、空气压缩气体、真空泵机组等厂务设施保障。可同时容纳12台设备进行再制造和升级改造项目,以及固定4台设备空间提供培训和科研项目使用。