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CVD

Betone 300mm化学气相沉积工艺设备,通过自主设计控制软件和多个制程腔相配合,优化制程配置,提高生产效率,填补国产设备的空白。
 
产品介绍:
Jupiter3120达到行业内同类型设备中14纳米高端工艺和高产能优势:
l  多台工控计算机分别控制六晶圆三对双子反应腔;
l  新版控制软件采用“状态机”实现反应腔工艺灵活性;
l  陛通核心发明专利(12吋晶圆真空旋转加热装置)强化薄膜沉积的均匀性设计。


产品特点:

PE CVD 产品特点
l  搭载往复式旋转,多角度沉积工艺选择
l  超薄薄膜的高均一性,SIO2 ,SIN等等
l  先进工艺多种选择,无氮抗反射层薄膜,无定形碳薄膜,无定形硅薄膜等


SA CVD 产品特点

l  搭载往复式旋转,好的填充性能
l  400度超薄薄膜的高均一性
l  多液态源工艺多种选择,USG, BPSG,PSG等